1) 진공오일충진기의 사용분야 및 특성
이 장치는 MEMS 실리콘기 압력분리액 정화 및 충진에 사용되며, 절연막시트와 실리콘칩 사이에 실리콘 오일매체를 충진하여 외부 환경으로부터 실리콘 칩을 보호하고 절연막 시트가 감지한 측정 압력을 실리콘 칩에 무손실 전달함으로써 외부 환경으로부터 실리콘 칩을 보호합니다. 압력센서 오일코어의 생산에 널리 사용되며, 균일한 온도제어, 높은 진공도, 빠른 공기흡입속도 및 간단한 작동 특성을 가지고 있습니다.
제어 시스템은 PLC에 의해 제어되고, 지능형 온도제어기로 온도를 제어하고, 제어는 정확하며, 자동화 정도가 높고, 자동/수동 비방해 스위칭 및 비정상 경보 기능을 실현할 수 있으며, 작동은 간단하고 신뢰성이 있다.

2) 상세사양

‌*참고 : 특수사양은 사용자 요구사항에 맞게 지정할 수 있습니다.