‌실리콘카바이드소결로는 실리콘카바이드 소결반응에 사용되는 진공소결로로서 최고온도는 1800℃, 최고진공도는 3.75x10-3Torr이며, 절연층은 흑연판과 Carbon felt의 복합구조이며 가열챔버는 실리콘 증기가 넘치지 않도록 밀봉되어 있습니다. 가열물질은 흑연이며 팽창식 배수시스템을 가지고 있습니다.